원테크놀로지

제품정보

▶ App.(적용분야) : 반도체 공정, 세라믹 신소재 개발, 금속 어닐링(Annealing) 열처리 실험, 엔진

가스켓 피스톤 디스크의 열 박음 처리, PR 경화 및 습기제거, 웨이퍼 (포토 리소그래피 공정 및

전처리) 산화 방지 건조 등에 사용합니다.

▷ 디지털 PID 제어는 정밀한 온도 제어가 가능하며, 설정 값에서 Over shoot를 방지하여 안정적

입니다. (자동튜닝 기능내장)

▷ 히터 출력은 TPR 또는 SCR 전력 제어 방식으로 내압성이 우수합니다.
▷ 냉각구간은 O2모니터링 센서 및 콘트롤러 시스템 (WT-APS)는 챔버 내부의 산소농도에 따라

자동으로 N2퍼지 아웃 제어하여 냉각 시 시료의 산화와 변색, 얼룩 등을 예방합니다.(옵션)

▷ 온도 조절이 가능한 과열 방지 장치 부착 (Class 2)과 청각적(Audible) 시각적(Visible) 알람 등

사용자를 위한 다양한 안전 장치를 내장.

Specifications

Model No.	WTO-150	WTO-252		WTO-384		WTO-792
Dimensions wdh/mm (In)	500 * 500 * 600	600 * 600 * 700		800 * 600 * 800		600 * 1200 * 1100
Temp. controller	LCD Backlit 10 Step programmable digital PID controller with auto tuning (BK3)
*Temp. Range	Ambient +30℃ ∼ 450℃ (Max.: 500℃)
*Temporal fluctuation	≤±1.5℃ ∼ ≤±2.5℃ @100℃
*Spatial variation	≤±2.0℃ ∼ ≤±3.5℃ @100℃
Heater, SCR controlled	5 kW		8 kW		10 kW	18 kW
Material (In)	Stainless steel plate (STS310), Option : STS316
(Out)	Steel plate (SCP-1) with powder coating finished
Insulation	Mineral & Ceramic wool or equivalent
ealing	Silicone gasket for high temp. + Ceramic angle rope(Germany made)
Exhaust damper	Manual damper, Stainless steel STS304, Ø100mm					Auto damper, Ø150mm
Safety device	Over temp. protector, Motor overload relay (EOCR), etc
Power source	AC 380 V, 3 Phase, 50/60 Hz
Optional Accessories
Temp. controller	Touch screen controller (TEMP2500, TEMP1500, NEX1000, TD500), LED programmable (UP35A)
Facility	HEPA Filter (WT-202-HFHT), Auto N₂ purge system (WT-APS : O₂ sensor WT-1231-O2, Controller)
Recorder	Chart type 2 channel (SR-10006) / Paperless type (SDR100, FX-1000, GR200)
* Accordance with DIN12880-7:2005 Technical details and dimensions are subject to change without prior notice for quality improvement

Controller & Options

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